системы магнетронного напыления

возможность сохранения в памяти информации о девяти материалах.

точность a0,5 % толщины,

временное разрешение 0,1 /с,

частота отсчёта толщины/скорости плёнок 4 ГГц,

точность измерения толщины плёнок 1 ,

Системой определения толщины плёнок в процессе роста:

рабочее давление 10 10 мбар.;

Квадрупольным масс-анализатором MICROVISION (1 200 amu):

Установка оснащена:

Нагреватель подложек с возможностью автоматизированного вращения (0 20 об./мин.) обеспечивает нагрев до 600`С. SHQ-15 PID контролер обеспечивает температурную стабильность a1`С. В комплект также входит генератор 100 Вт для подачи на подложку в/ч напряжения.

Откачка напылительной камеры осуществляется турбомолекулярным насосом со скоростью 500 литров в секунду, спиральным и титаново-сублимационным насосами. Откачка камеры загрузки осуществляется турбомолекулярным насосом 60 литров в секунду и спиральным насосом. В комплект входят три генератора постоянного тока мощностью 500 Вт и в/ч генератор 300 Вт.

Система магнетронного напыления представляет собой двухкамерную конструкцию, состоящую из напылительной камеры и камеры загрузки. В состав напылительной камеры входят четыре магнетронных источника.

Назначение и технические характеристики

Система магнетронного напыления представляет собой двухкамерную конструкцию, состоящую из напылительной камеры и камеры загрузки. В состав напылительной камеры входят четыре магнетронных источника.

Сверхвысоковакуумная система магнетронного напыления

Сверхвысоковакуумная система магнетронного напыления

только в текущем разделе

Персональные инструменты

Сверхвысоковакуумная система магнетронного напыления Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук